Máy quang khắc (photolithography machine) là thiết bị sử dụng ánh sáng để khắc các mẫu mạch siêu nhỏ lên bề mặt wafer silicon, bước quan trọng nhất trong quy trình sản xuất chip bán dẫn. Đây là công nghệ quyết định độ nhỏ – nhanh – mạnh của các dòng chip như 5nm, 3nm hay 2nm.
Không có máy quang khắc, không có smartphone, ô tô điện, trí tuệ nhân tạo hay thiết bị IoT như ngày nay.
Máy quang khắc (photolithography) chủ yếu được phát triển và sản xuất bởi các công ty công nghệ hàng đầu, đặc biệt là từ Hoa Kỳ, Nhật Bản, và Đài Loan. Những quốc gia tham gia nhiều nhất:
=> Có thể thấy khi hỏi “máy quang khắc của nước nào”, câu trả lời là: nhiều quốc gia cùng tham gia sản xuất.
Quy trình hoạt động của máy quang khắc bao gồm:
Máy EUV có thể tạo chi tiết chỉ vài nanomet — nhỏ gấp hàng chục nghìn lần vi khuẩn.
DUV sử dụng ánh sáng có bước sóng khoảng 193 nm, phù hợp với chip thế hệ cũ hoặc chip công suất lớn. Trong khi đó, EUV dùng ánh sáng 13.5 nm, cho phép tạo ra transistor kích thước siêu nhỏ, phù hợp với chip 3 nm hoặc 2 nm. Máy EUV là công nghệ độc quyền và đóng vai trò cốt lõi trong việc sản xuất chip cao cấp.
Các quốc gia muốn phát triển chip tiên tiến đều phải có quyền tiếp cận EUV. Tuy nhiên, vì liên quan đến chính sách kiểm soát xuất khẩu của Mỹ và Hà Lan, không phải quốc gia nào cũng được phép mua.
Máy quang khắc là điểm nghẽn của chuỗi cung ứng bán dẫn. Thiết bị này có giá hàng trăm triệu USD, cần hàng chục container để vận chuyển và mất vài tháng để lắp đặt. Không có máy quang khắc, mọi kế hoạch mở rộng sản xuất chip trở nên vô nghĩa.
Sự phụ thuộc của cả thế giới vào một công ty duy nhất khiến lĩnh vực này trở thành điểm nóng địa chính trị. Các nước đều muốn tự chủ, nhưng khoảng cách công nghệ lớn khiến việc thay thế gần như bất khả thi. Vì vậy, ASML và Hà Lan luôn nằm ở tâm điểm của chiến lược công nghệ toàn cầu.
Việt Nam hiện chưa có nhà máy chế tạo chip tiên tiến ở cấp độ 5 nm hoặc 3 nm, nên chưa cần đầu tư EUV. Tuy nhiên, với tầm nhìn phát triển công nghiệp bán dẫn quốc gia, việc hiểu rõ công nghệ máy quang khắc của nước nào và cách vận hành của thiết bị này là bước nền quan trọng để phát triển chuỗi cung ứng trong tương lai.
Máy quang khắc được sản xuất bởi nhiều quốc gia, nhưng EUV – công nghệ tối quan trọng để sản xuất chip tiên tiến – chủ yếu do Hà Lan (ASML) làm chủ. Việc hiểu rõ cơ chế hoạt động và phân khúc công nghệ giúp Việt Nam định hướng đúng đắn trong hành trình phát triển ngành bán dẫn và tiến dần tới tự chủ công nghệ cao trong tương lai.
Tìm hiểu thêm về các công nghệ quét và số hóa 3D tại 3D Master để ứng dụng trong nghiên cứu kỹ thuật cao.
Hotline - Zalo - LINE - Telegram - WhatsApp - Viber - Kakaotalk: +84 982 089 198 | 0986333960
Email: cuong3dmaster@gmail.com | hung3dmaster@gmail.com | tech3dmaster@gmail.com
Website: https://3dmaster.com.vn
